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冷水機chiller系列
冷水機chiller

特殊液體冷水機系列（熱交換器）

本產(chǎn)品是為晶圓清洗、刻蝕、等化學(xué)品保溫開(kāi)發(fā)的專(zhuān)用溫控器，產(chǎn)品由電控單元與換熱單元兩部分組成，通過(guò)對采集到的熱交換器內部的化學(xué)品循環(huán)液溫度與設定溫度的差異變化，進(jìn)行 PID 控制運算，實(shí)現對化學(xué)品循環(huán)液溫度的控制。
本產(chǎn)品適用化學(xué)液體（參考）：10~60℃堿性溶液（5%以下氨水，20%以下過(guò)氧化氫、50%以下氫氧化鈉） 10~40℃酸性溶液（10%以下 HF，96%以下濃硫酸，5%以下鹽酸、5%以下硝酸等） 使用混合液時(shí)需要提供混合比例，試驗確認可行性。
與化學(xué)品接觸材質(zhì)符合 SIMI F57 要求。
半導體式冷水機系列
本款產(chǎn)品主要基于本司制冷片產(chǎn)品，利用帕爾貼效應進(jìn)行升降溫控制，區別于傳統壓縮機制冷 方式，該型水冷設備噪音小，無(wú)需添加冷媒，穩定控制狀態(tài)節能環(huán)保，具備定時(shí)運轉，低液位報警、 停電復歸、水泵防凍、遠程控制、數據可顯可導等多種控制功能。
FCP30021A
FCP30021A
本設備性能優(yōu)異，體積小、噪音低、耗電量低、熱效率高且可根據需求定制，控制精度可達0.05℃，適用于溫 濕度控制良好的環(huán)境，具有定時(shí)運轉、溫度補償、實(shí)現自我診斷等功能，且可實(shí)現過(guò)熱、過(guò)載、缺水等多重報 警功能，遠程控制方便，可以實(shí)現RS232、RS485、ETH等多種不同通訊方式控制。廣泛應用于半導體行業(yè)蝕刻裝置，CMP（工藝機械拋光）實(shí)驗室精密裝置、高精度測試儀器、醫美設備、固態(tài)激光器、模具溫控等。
FCP60022A
FCP60022A
本設備性能優(yōu)異，體積小、噪音低、耗電量低、熱效率高且可根據需求定制，控制精度可達0.05℃，適用于溫 濕度控制良好的環(huán)境，具有定時(shí)運轉、溫度補償、實(shí)現自我診斷等功能，且可實(shí)現過(guò)熱、過(guò)載、缺水等多重報 警功能，遠程控制方便，可以實(shí)現RS232、RS485、ETH等多種不同通訊方式控制。廣泛應用于半導體行業(yè)蝕刻裝置，CMP（工藝機械拋光）實(shí)驗室精密裝置、高精度測試儀器、醫美設備、固態(tài)激光器、模具溫控等。
FCP30023W
FCP30023W
本設備性能優(yōu)異，體積小、噪音低、耗電量低、熱效率高且可根據需求定制，控制精度可達0.05℃，適用于溫 濕度控制良好的環(huán)境，具有定時(shí)運轉、溫度補償、實(shí)現自我診斷等功能，且可實(shí)現過(guò)熱、過(guò)載、缺水等多重報 警功能，遠程控制方便，可以實(shí)現RS232、RS485、ETH等多種不同通訊方式控制。廣泛應用于半導體行業(yè)蝕刻裝置，CMP（工藝機械拋光）實(shí)驗室精密裝置、高精度測試儀器、醫美設備、固態(tài)激光器、模具溫控等。
FCP60024W
FCP60024W
本設備性能優(yōu)異，體積小、噪音低、耗電量低、熱效率高且可根據需求定制，控制精度可達0.05℃，適用于溫 濕度控制良好的環(huán)境，具有定時(shí)運轉、溫度補償、實(shí)現自我診斷等功能，且可實(shí)現過(guò)熱、過(guò)載、缺水等多重報 警功能，遠程控制方便，可以實(shí)現RS232、RS485、ETH等多種不同通訊方式控制。廣泛應用于半導體行業(yè)蝕刻裝置，CMP（工藝機械拋光）實(shí)驗室精密裝置、高精度測試儀器、醫美設備、固態(tài)激光器、模具溫控等。
FCP60024L30W
FCP60024L30W
本設備性能優(yōu)異，體積小、噪音低、耗電量低、熱效率高且可根據需求定制，控制精度可達0.05℃，適用于溫 濕度控制良好的環(huán)境，具有定時(shí)運轉、溫度補償、實(shí)現自我診斷等功能，且可實(shí)現過(guò)熱、過(guò)載、缺水等多重報 警功能，遠程控制方便，可以實(shí)現RS232、RS485、ETH等多種不同通訊方式控制。廣泛應用于半導體行業(yè)蝕刻裝置，CMP（工藝機械拋光）實(shí)驗室精密裝置、高精度測試儀器、醫美設備、固態(tài)激光器、模具溫控等。
FCP90026W
FCP90026W
本設備性能優(yōu)異，體積小、噪音低、耗電量低、熱效率高且可根據需求定制，控制精度可達0.05℃，適用于溫 濕度控制良好的環(huán)境，具有定時(shí)運轉、溫度補償、實(shí)現自我診斷等功能，且可實(shí)現過(guò)熱、過(guò)載、缺水等多重報 警功能，遠程控制方便，可以實(shí)現RS232、RS485、ETH等多種不同通訊方式控制。廣泛應用于半導體行業(yè)蝕刻裝置，CMP（工藝機械拋光）實(shí)驗室精密裝置、高精度測試儀器、醫美設備、固態(tài)激光器、模具溫控等。
壓縮機式冷水機系列
本設備為壓縮機式冷水機，采用知名品牌壓縮機，性能穩定且優(yōu)異，出水口控溫精度可達0.1℃，可選配組件實(shí)現多路輸出，帶多路負載，適用于溫濕度控制良好的環(huán)境，節能環(huán)保，操作簡(jiǎn)單，具有定時(shí)運轉、溫度補償、實(shí)現自我診斷等功能，且可實(shí)現過(guò)熱、過(guò)載、缺水等多重報警功能，遠程控制方便，可以實(shí)現I/O、RS232、RS485等多種不同通訊方式控制。
FCCA0152204
FCCA0152204
本設備為壓縮機式冷水機，采用知名品牌壓縮機，性能穩定且優(yōu)異，出水口控溫精度可達0.1℃，可選配組件實(shí)現多路輸出，帶多路負載，適用于溫濕度控制良好的環(huán)境，節能環(huán)保，操作簡(jiǎn)單，具有定時(shí)運轉、溫度補償、實(shí)現自我診斷等功能，且可實(shí)現過(guò)熱、過(guò)載、缺水等多重報警功能，遠程控制方便，可以實(shí)現I/O、RS232、RS485等多種不同通訊方式控制。
FCCA0242202
FCCA0242202
本設備為壓縮機式冷水機，采用知名品牌壓縮機，性能穩定且優(yōu)異，出水口控溫精度可達0.1℃，可選配組件實(shí)現多路輸出，帶多路負載，適用于溫濕度控制良好的環(huán)境，節能環(huán)保，
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冷水機產(chǎn)品介紹手冊
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體積小巧
體積小巧
精確控溫
精確控溫
智能報警
智能報警
遠程控制
遠程控制
chiller系列產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)
半導體制冷片（TEC），是由許多微小而有效的熱泵組成的半導體器件。通過(guò)施加一個(gè)低壓直流電，熱量將從TEC的一面轉移到另一面，從而產(chǎn)生TEC一面變冷另一面變熱的現象，使用多對半導體原件串聯(lián)形成制冷器單元，實(shí)現吸熱，溫度下降的現象，以其快速響應和冷熱面轉換來(lái)實(shí)現高精度的溫度控制。
應用場(chǎng)景
  • 蝕刻裝置 清洗機 顯影機
    蝕刻裝置 清洗機 顯影機
  • 激光焊接機 激光器 激光打標機 金屬3D打印
    激光焊接機 激光器 激光打標機 金屬3D打印
  • 弧焊 實(shí)驗測試機 工業(yè)加工中心
    弧焊 實(shí)驗測試機 工業(yè)加工中心
  • 包裝機 印刷機 醫療設備
    包裝機 印刷機 醫療設備
蝕刻裝置 清洗機 顯影機
激光焊接機 激光器 激光打標機 金屬3D打印
弧焊 實(shí)驗測試機 工業(yè)加工中心
包裝機 印刷機 醫療設備
蝕刻裝置 清洗機 顯影機
蝕刻裝置 清洗機 顯影機
激光焊接機 激光器 激光打標機 金屬3D打印
激光焊接機 激光器 激光打標機 金屬3D打印
弧焊 實(shí)驗測試機 工業(yè)加工中心
弧焊 實(shí)驗測試機 工業(yè)加工中心
包裝機 印刷機 醫療設備
包裝機 印刷機 醫療設備
Matrix diagram of applications in various fields
各領(lǐng)域的應用之矩陣圖
該產(chǎn)品的生產(chǎn)基地
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